Ultragarsinio purškimo purškimo įranga nanoplėvelei dengti
Sep 18, 2026
Ultragarsinio purškimo purškimo įranga nanoplėvelės dengimui
1. Kas yra nanofilmų purškimas?
Nanoplėvelės yra plonasluoksnės medžiagos, kurių storis yra nanoskalės diapazone, dažniausiai naudojamos laidumui, optinėms savybėms, paviršiaus drėkinimui ir kitoms substratų funkcijoms pagerinti. Tradiciniai plonos{2}plėvelės paruošimo metodai apima padengimą sukimo būdu, panardinimą, purškimą ir nusodinimą atominiu sluoksniu. Purškimas ultragarsu, purškiant ir nusodinant skystį, suteikia galimybę paruošti tirpalą -pagal ploną{5}} plėvelę
2. Ultragarsinio purškimo purškimo dengimo įrangos veikimo principas
Ultragarsinio purškimo purškimo dengimo įrangą daugiausia sudaro ultragarsinis generatorius, purškimo antgalis, skysčio tiekimo sistema, nešančiųjų dujų sistema ir judesio platforma. Jo pagrindinis darbo procesas yra toks:
1. Nanomedžiagos tirpalas arba dangos tirpalas tiekiamas į ultragarsinį purškimo antgalį.
2. Dėl ultragarso vibracijos skystis formuoja smulkius lašelius.
3. Nešančiosios dujos perneša lašelius į substrato paviršių.
4. Lašeliai pasklinda, išdžiūsta arba vėliau{1}}apdorojami ant pagrindo.
5. Kelis kartus purškiant susidaro plona tikslinio storio plėvelė.
3. Ultragarsinio purškimo nanoplėvelėms privalumai
Vienodas purškimas:Ultragarsiniai purškimo purkštukai generuoja smulkius lašelius per aukšto{0}}dažnio vibraciją, o tai padeda pagerinti dangos nusodinimo vienodumą. Lašelio dydis, purškimo atstumas, skysčio tiekimo greitis ir substrato būklė turi įtakos galutinei plėvelės kokybei.
Tikslus plėvelės storio valdymas:Plėvelės storis gali būti tiksliai kontroliuojamas reguliuojant purškimų skaičių, skysčio tiekimo greitį, purkštukų judėjimo greitį ir tirpalo koncentraciją.
Patobulintas medžiagų panaudojimas:Ultragarsinis purškimas paprastai purškiamas mažu-greičiu ir švelnesnis purškimo būdas, sumažinamas purslų kiekis ir perteklinis purškimas, taip padedant sumažinti medžiagų švaistymą. Faktinis medžiagos panaudojimas vis tiek priklauso nuo purškimo sistemos, substrato dydžio, tirpalo savybių ir regeneravimo būdo.
Tinka didelio ploto{0}}filmų ruošimui:Ultragarsinis purškimas gali būti derinamas su automatizuotomis judesio platformomis, kad būtų galima padengti didelį{0}}plokštų pagrindų plotą.
4. Ultragarsinio purškimo nanoplėvelėms taikymai
Skaidrios laidžios plėvelės:Ultragarsinis purškimas gali būti naudojamas tiriant laidžias polimerines plėveles, tokias kaip PEDOT: PSS, ir tinka skaidriems laidžiams sluoksniams ir organinėms elektroninėms medžiagoms kurti.
Puslaidininkinės ir elektroninės medžiagos:Jis gali būti naudojamas funkcinių dangų ant silicio plokštelių paviršių, fotorezisto dangų ir organinių elektroninių plonų plėvelių tyrimams.
Optinės funkcinės plėvelės:Tokios medžiagos kaip nano{0}silicio dioksidas gali būti naudojamos struktūrinėms spalvotoms plėvelėms ir kitoms optinėms funkcinėms dangoms paruošti.
Hidrofilinės ir hidrofobinės dangos:Ultragarsinis purškimas gali būti naudojamas ruošiant hidrofilines, hidrofobines ir kitas paviršiaus funkcines plėveles; specifinės savybės priklauso nuo dangos medžiagos ir paviršiaus apdorojimo proceso.
Naujos energetinės medžiagos:Jis gali būti naudojamas plonasluoksnių saulės elementų ir kitų naujų energetinių medžiagų dangų funkciniams sluoksniams tirti ir apdoroti.
5. RPS-SONIC ultragarsinio purškimo dengimo įranga
RPS-SONIC ultragarsinio purškimo dengimo įranga tinka tokioms reikmėms kaip nanomedžiagų dangos, funkcinės plonos plėvelės, elektroninės medžiagos ir tikslus paviršiaus padengimas. Įranga gali būti pritaikyta pagal kliento medžiagų charakteristikas, pagrindo dydį, dangos plotą ir gamybos reikalavimus.
Didelis{0}}ultragarsinis purškimas: Naudojama aukšto{0}}dažnio ultragarso purškimo technologija, padedanti pasiekti stabilų ir vienodą lašelių purškimą.
Vienoda plonos plėvelės danga:Tinka vienodai plonai plėvelei paruošti, kontroliuojant proceso parametrus, tokius kaip skysčio tiekimas, purškimo greitis ir purškimo laikas.
Individualūs dengimo sprendimai:Tinkami ultragarsiniai dengimo sprendimai gali būti suprojektuoti pagal kliento medžiagų charakteristikas, pagrindo dydį, dangos plotą ir gamybos reikalavimus.
