Ultragarsinis purškimas leidžia tiksliai purkšti – ultragarsiniai purškimo įpurškimo siurbliai

Tikslaus skysčių tiekimo srityje „tikslumas, efektyvumas ir minimalus invaziškumas“ visada buvo pagrindinės pramonės proveržio problemos. Nuo tikslaus puslaidininkinių lustų dengimo iki mikroskopinių operacijų mokslinių tyrimų laboratorijose, nuo aukščiausios klasės pramoninių dangų iki reagentų infuzijos elektronikos pramonėje – tradicinių įpurškimo siurblių mechaninis pavaros režimas visada susidurdavo su neįveikiamomis kliūtimis: pulsavimo trukdžiais, nepakankamu mechaniniu srauto tikslumu ir tolygiu skysčių prisitaikymu prie didelio-. trintis, kad pakenktų dangos medžiagų aktyvumui. Šie skausmingi taškai jau seniai ribojo taikomųjų programų naujinimus -aukštos klasės puslaidininkių srityje. Pasirodžius ultragarsiniams purškiamiesiems įpurškimo siurbliams, kurių esmė yra ultragarsinė pjezoelektrinė technologija, pasiekiamas dviejų krypčių „purškimas + įpurškimas“ sintezė, pažeidžiant tradicinius technologinius suvaržymus ir suteikiant visiškai-naują sprendimą tiksliam skysčių tiekimui puslaidininkiuose ir įvairiose aukščiausios klasės{9}}technologijų srityse. didelio-tikslumo siurbliai.

Pagrindinis ultragarsinio purškimo švirkštinių pompų pranašumas yra „nekontaktinis aukšto-dažnio ultragarsinis valdymas“. Jo technologinė šerdis apjungia pažangiausius-ultragarso, skysčių dinamikos ir pjezoelektrinių medžiagų mokslo pasiekimus ir pasiekia esminį šuolį nuo „mechaninio stūmimo“ iki „ultragarsinio purškimo pateikimo“. Jo veikimo principas yra labai specializuotas: naudojant didelio-grynumo titano lydinio pjezoelektrinę keramiką kaip keitiklio šerdį, kai taikoma aukšto-dažnio kintamoji įtampa, pjezoelektrinė keramika sukuria nedidelius tokio pat dažnio mechaninius virpesius. Ši vibracija perduodama į siurblio kamerą per jungiamąją struktūrą, todėl kameroje esantis padengtas skystis (pvz., fotorezistas, laidžioji pasta arba inkapsuliuojantis klijai), veikiant ultragarso energijai, dideliu dažniu svyruoja, todėl jis purškiamas į vienodo mikrono{8}} dydžio 15–45 μm lašelius. Šis dalelių dydis tiksliai atitinka pagrindinius puslaidininkinių lustų plokštelių dengimo, švino pakavimo ir mikro-elektroninių komponentų apdorojimo reikalavimus, išvengiant netolygios dangos ir defektų, atsirandančių dėl didelių lašelių nusėdimo, ir medžiagų švaistymo bei prasto dangos efekto, kurį sukelia lengvas pernelyg mažų dalelių lakavimas.

Dar svarbiau, kad ultragarsinis purškiamas įpurškimo siurblys, naudodamas be vožtuvų asimetrišką srauto kanalo konstrukciją arba didelio{0}}tikslumo vožtuvų grupės valdymą, paverčia momentinį slėgio skirtumą, susidarantį dėl aukšto-dažnio vibracijos, į vienakryptį stabilų skysčio srautą. Kartu su uždara-kilpos valdymo sistema galima pasiekti tikslų srauto greičio valdymą nuo 0,1 μL/min iki 5 l/h, reguliuojant pavaros įtampos amplitudę ir dažnį, o srauto tikslumo paklaida yra mažesnė arba lygi ±1 %, gerokai viršijanti tradicinių įpurškimo siurblių ±5 % paklaidos standartą.

Ultragarsinio purškimo įpurškimo siurblio, kaip aukščiausios klasės{0}} tikslumo prietaiso, kuriame derinamas profesionalumas ir praktiškumas, privalumai yra integruoti į keturis aspektus: tikslumą, efektyvumą, pritaikomumą ir patogumą. Jo techninės charakteristikos tiksliai pašalina daugelį tradicinės įrangos skausmo taškų. Kalbant apie tikslumą, mechaninių pavarų, švino varžtų ir kitų transmisijos komponentų nebuvimas visiškai pašalina mechaninio judesio sukeltus pulsacijos trukdžius. Purškiamų lašelių dydžio vienodumas yra mažesnis arba lygus 5%, todėl dengiamąsias medžiagas galima padengti vienodai arba tiksliai tiekti. Nesvarbu, ar tai didelio ploto vienoda puslaidininkinių plokštelių danga, ar lokalus tikslus lustų kaiščių ir mikrokondensatorių nusodinimas, jis užtikrina vienodą dangos storį ir lygų paviršių, išvengiant tradicinių dengimo metodų defektų. Kalbant apie efektyvumą, ultragarsu purškiant pasiekiamas didesnis nei 94 % arba lygus tirpalo konversijos greitis, o medžiagos panaudojimo koeficientas yra daugiau nei keturis kartus didesnis nei naudojant tradicinį dviejų skysčių pneumatinį purškimą, o tai žymiai sumažina brangių puslaidininkinių medžiagų, tokių kaip fotorezistas ir laidžios pastos, švaistymą. Jis ypač tinka naudoti brangias{11}}specialias dangos medžiagas puslaidininkių gamyboje.

Kalbant apie pritaikomumą, ultragarsinis purškiamas įpurškimo siurblys pasižymi ypač dideliu scenarijaus suderinamumu. Puslaidininkių pramonėje jis įgalina bekontaktį tikslaus purškimo purškimą, tiksliai padengiant lustų paviršius ir mikro{1}}komponentus itin smulkiais rūko srautais. Jis tinka pagrindiniams procesams, tokiems kaip plokštelių fotorezisto danga, lustų kapsuliavimo klijų purškimas ir laidžios pastos spausdinimas, siekiant išvengti lustų įbrėžimų ir komponentų pažeidimų, kuriuos sukelia kontaktinė danga. Kartu tai leidžia tiksliai valdyti dangos storį, tenkinant skirtingų specifikacijų puslaidininkinių gaminių apdorojimo poreikius. Tyrimų laboratorijose jo miniatiūrinį dizainą galima lengvai integruoti į mikroskysčių lustus, tinkančius mikroskopinėms operacijoms, pvz., puslaidininkinės medžiagos mikro{6}}našumo bandymams ir mikroelektroninių komponentų kūrimui. Milisekundės-lygio atsako greitis leidžia greitai pradėti-sustabdyti ir įvesti impulsą, o tai padeda tyrėjams pagerinti eksperimentų tikslumą ir efektyvumą. Pramoninio tikslumo srityje, be pagrindinių puslaidininkių procesų, jis taip pat gali būti naudojamas mikro{11}}dengimui MEMS gamyboje ir izoliacinio sluoksnio purškimui elektroniniams komponentams. Sausos plėvelės storis gali būti tiksliai valdomas nuo 20 nm iki 100 μm, kad būtų patenkinti aukščiausios klasės puslaidininkių ir elektronikos gamybos{15} tikslumo apdorojimo reikalavimai.

Nuolat atnaujinant medžiagų mokslo ir mikroelektronikos technologijas, ultragarsiniai purškiamieji įpurškimo siurbliai tobulėja ir tobulėja, todėl jie yra labiau pritaikomi, tiksliai prisitaikydami prie puslaidininkių pramonės atnaujinimo poreikių. Tikslioje puslaidininkinių lustų gamyboje, mikromedžiagų tyrime ir plėtroje moksliniuose tyrimuose ar aukščiausios klasės elektroninių komponentų apdorojimo -pramonės sektoriuje srityse, ultragarsiniai purškimo siurbliai laužo technologinių naujovių ribas, iš naujo formuodami naują tikslaus skysčių tiekimo paradigmą.

Technologijos suteikia tikslumo ateičiai. Ultragarsinių purškiamųjų įpurškimo siurblių atsiradimas yra ne tik technologinė revoliucija tiksliųjų siurblių srityje, bet ir esminė parama aukščiausios klasės puslaidininkių kūrimui, moksliniams tyrimams ir pramonei. Naudojant ultragarso technologiją ir tikslų pristatymą kaip savo misiją, jis pašalina daugelį tradicinės puslaidininkinės dangos įrangos problemų, todėl puikiai sujungia "purškimą" ir "įpurškimą", todėl tiksli danga tampa efektyvesnė, stabilesnė ir patogesnė. Ateityje, vykstant nuolatinei technologinei iteracijai ir nuolat atnaujinant puslaidininkių pramonę, ultragarsiniai purškimo įpurškimo siurbliai ir toliau gilins tam tikrus puslaidininkių -sektorius, teikdami profesionalesnį našumą ir labiau pritaikytus sprendimus, padėsiančius atnaujinti puslaidininkių gamybą, suteikti naujų impulsų lustų tyrimams ir plėtrai, elektroninių komponentų apdorojimui ir pažangioms technologijoms. nauja tikslaus skysčių tiekimo era.