Kaip ultragarsinio purškimo antgalio danga yra fotorezistas?

Ultragarsinio purškimo dengimo technologija yra nauja technologija, šiuo metu atliekanti svarbų vaidmenį įvairiose pramonės šakose. Didesnis klientų skaičius dabar renkasi ultragarsinį antgalį dengimui. Palyginti su tradiciniu dviejų-skysčių purškimu, ultragarsinis purškimas suteikia didelių pranašumų dėl dangos kokybės, medžiagų panaudojimo ir proceso suderinamumo.

 

Mūsų įmonė siūlo nemokamas mėginių testavimo paslaugas, o vis daugiau klientų siunčia mums pavyzdžius tyrimams. Mūsų įranga sulaukė teigiamų klientų atsiliepimų ir pripažinimo.

 

Šiandien aptarsime ultragarsinį fotorezistinį purškimą – gana dažną medžiagų purškimo būdą.

 

Fotorezistas yra plonos plėvelės medžiaga, jautri šviesai ar spinduliuotei ir pirmiausia naudojama smulkiam modeliavimui tokiose srityse kaip integriniai grandynai ir ekrano plokštės. Fotolitografijos procese ji naudojama kaip ėsdinimui{1}}atspari danga. Jo tirpumas keičiasi veikiant šviesai, sudarydamas norimą grandinės modelį. Fotorezistai skirstomi į teigiamą -toną (atskleistos sritys ištirpsta) ir neigiamą -toną (neeksponuotos sritys ištirpsta). Priklausomai nuo poveikio šviesos šaltinio, jie skirstomi į UV, gilaus UV, ekstremalaus UV ir elektronų pluošto atsparius.

Ultragarsinio fotorezisto purškimo purškimo technologijos esmė yra ultragarso vibracijos energijos naudojimas, siekiant efektyvaus ir vienodo fotorezisto purškimo. Tikslus oro srauto valdymas nukreipia purškiamus lašelius į pagrindo paviršių ir sudaro aukštos kokybės dangą. Procesą galima suskirstyti į tris pagrindinius etapus:

 

 

1. Fotorezisto purškimas: aukšto{1}}dažnio vibracija sumažina skysčio paviršiaus įtempimą.

Pagrindinis ultragarsinio purškimo technologijos komponentas yra ultragarsinis purškimo antgalis, kuriame yra pjezoelektrinis keraminis vibratorius. Kai vibratorius perduodamas aukšto-dažnio elektriniu signalu, jis sukuria tokio paties dažnio mechanines vibracijas, perduodamas vibracijos energiją į purkštuko purškiamąjį paviršių. Po to, kai fotorezistas per skysčio tiekimo sistemą patenka į purškiamąjį paviršių, aukšto -dažnio vibracijos greitai suardo skysčio paviršiaus įtempimą ir susidaro vienodo skersmens (paprastai 5 μm–50 μm) mikrono{4} dydžio lašeliai.

Palyginti su tradiciniu purškimu slėgiu (kuris priklauso nuo didelio-slėgio oro srauto, kad suskaidytų skystį), ultragarsinis purškimas pašalina aukšto-slėgio oro srauto trukdžių poreikį, todėl lašelių dydis pasiskirsto tolygiau (±10 %). Taip pat išvengiama lašelių aptaškymo ar pagrindo paviršiaus pažeidimo dėl oro srauto poveikio.

 

2. Tikslus perdavimo kelio valdymas

Mūsų įmonėje dirba profesionalūs programavimo inžinieriai, kurie gali savarankiškai užprogramuoti purškimo purškimo kelią. Taip pat galime pritaikyti skirtingus purškimo kelius pagal klientų poreikius. Mes turime brandžią patirtį gaminant visas mašinas. Kiekvienam įrenginiui jį programuojame klientui. Ekrane klientas mato purškimo kelią realiuoju laiku-. Be maršruto parinkimo, taip pat turime reguliuoti oro srauto greitį (norėdami valdyti perdavimo atstumą, paprastai 5{7}}50 mm) ir santykinę purkštuko bei pagrindo padėtį (naudojant roboto ranką arba transliacijos stadiją trimatei padėties nustatymui), užtikriname, kad purškiamos dalelės pasiektų pagrindo paviršių vertikaliai ir tolygiai, išvengiant netolygaus oro srauto sūkurio storio.

3. Dangos plėvelės susidarymas: žemoje temperatūroje{1}}kietėjimas užtikrina struktūrinį vientisumą

Po to, kai purškiami lašeliai nusėda ant pagrindo paviršiaus, jie kietėja žemoje -temperatūroje (paprastai 60 laipsnių -120 laipsnių, daug žemesnė nei tradicinės gręžimo dangos aukštoje{5}}temperatūroje), kad susidarytų plėvelė. Kietėjimas žemoje temperatūroje ne tik apsaugo nuo pagrindo deformacijos ar medžiagos skilimo dėl aukštų temperatūrų, bet ir sumažina įtempių kaupimąsi fotorezisto viduje, pagerina dangos sukibimą ir struktūrinį vientisumą, taip padedant tolesniems fotolitografijos procesams.